SuperViewW1白光干涉3D顯微檢測儀基于白光干涉原理,，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度,、微觀幾何輪廓、曲率等,。

產(chǎn)品功能

(1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高,、角度等輪廓尺寸測量功能；

(2)測量中提供自動對焦,、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能,；

(3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能,；

(4)分析中提供校平,、圖像修描、去噪和濾波,、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

(5)分析中提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析、功能分析等五大分析功能,；

(6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

針對完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時滿足的高精度,、大掃描范圍的需求,，SuperViewW1白光干涉3D顯微檢測儀的復(fù)合型EPSI重建算法,，解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點,。在自動拼接模塊下，只需要確定起點和終點,，即可自動掃描,，重建其超光滑的表面區(qū)域,，不見一絲重疊縫隙。

應(yīng)用領(lǐng)域

可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測,、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工,、微納材料及制造、汽車零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領(lǐng)域中,，對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度,、粗糙度、波紋度,、面形輪廓,、表面缺陷,、磨損情況,、腐蝕情況、孔隙間隙,、臺階高度、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析,。

應(yīng)用范例：

性能特色

1,、高精度、高重復(fù)性

1）采用光學(xué)干涉技術(shù),、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統(tǒng)，保證測量精度高,；

2）隔振系統(tǒng),，能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動,，消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲,，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用，獲得高測量重復(fù)性,；

2、環(huán)境噪聲檢測功能

具備的環(huán)境噪聲檢測模塊能夠定量評估出外界環(huán)境對儀器掃描軸的震動干擾，在設(shè)備調(diào)試,、日常監(jiān)測、故障排查中能夠提供定量的環(huán)境噪聲數(shù)據(jù)作為支撐,。

3、精密操縱手柄

集成X,、Y,、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,，可快速完成載物臺平移、Z向聚焦,、找條紋等測量前工作。

4,、雙重防撞保護措施

在初級的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進行防撞保護外，另在Z軸上設(shè)計有機械電子傳感器,，當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時，儀器自動進入緊急停止?fàn)顟B(tài),，最大限度的保護儀器,，降低人為操作風(fēng)險,。

5、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標(biāo)配靜音空壓機,，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。

部分技術(shù)指標(biāo)

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